产品简介：
磁控溅射脉冲电源其正负脉冲的幅值、频率、占空比均可独立连续可调整，适合于镀制碳化物、氧化物、氮化物等膜层。
技术指标：
1.交流输入：单相220VAC、三相380VAC
2.功率因数：≥0.99（小功率电源） ≥0.92（大功率电源）
3.效率：≥0.82
4.输出空载电压：≥±600V
5.输出工作电压：0～±500V连续可调
6.输出电流：1A～160A，分10种规格：1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、75KW、100 KW、200KW
7.工作方式：恒流、恒压、恒功率任选
8.控制方式：7寸液晶触摸屏+远程RS485计算机通信（MODBUS通信协议）
9.输出频率：20KHz～80KHz 连续可调
10.占 空 比：5～90%分别连续可调
11.输出波形：单极正向直流、负向直流、正向脉冲、负向脉冲、对称双极正负脉冲、非对称双极脉冲
12.稳流精度：≤1%
13.环境温度：-10℃～40℃
14.冷却方式：风冷、水冷
